东莞市志远高热机械科技有限公司

气氛炉气氛烧结炉,真空高温炉

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金属电子材料快速退火炉可实现多种工艺

发布者:陈萃文 | 来源:东莞市志远高热机械科技有限公司发布时间:2023-11-17
产品单价
90000.00元/台
起订量
1台
供货总量
1 台
发货期限
自买家付款之日起3天内发货
品牌
志远高热
真空度
3*10-4pa
是否可通气氛
可通氮气氩气等
加热元件
中频感应加热
热电偶
红外热电偶
   

一、设备总体概述

一、机台说明:

ZYG1100-300感应退火是我公司在消化吸收国外同类产品的基础上,与北京大学东莞光电研究院共同研制开发的。广泛应用于快速退火、陶瓷材料烧结、薄膜生长、碳纳米管的研制、纳米氧化锌结构的可控生长、衬底还原复活等工艺。特的加热方式提高了生产的效率。该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点,是高校、科研院所、工矿企业做高温实验用的理想产品。

二、电源特点:

这款高频感应退火炉采用高频感应加热,采用段31程序控温系统,PID调节,温度可控,炉膛采用进口氧化铝多晶纤维材料,具有升降温度速率快、方便、简洁等优点

密封系统:该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好、可12小时压力表指针不偏转。

真空系统:该炉配有真空泵机组,如果需要更高的真空度可以选用扩散泵或分子泵,可选配烟雾过滤器和油污过滤器。

炉膛材料:采用氧化铝陶瓷纤维保温材料,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强。

漏电保护功能:该炉装了漏电空气开关,当炉体漏电时自动断电,以确保使用的安全性。

法兰:采用双环密封技术,有效的提高了法兰的气氛性,法兰上装有多种接头,可接电阻真空计、KF25波纹管并能做成容易撤卸的铰链式。

水冷系统:炉配有冷水机、可以有效的给感应线圈提供冷却水,水冷系统具有自动控温和过温保护等功能。

高频感应加热炉:采用IGBT功率模块和变流控制技术,操作简单、维修方便,具有具有欠水压和过温保护。

三、主要技术参数指标

       参数

项目


电压AC

380V

加热功率

80KW

铜圈尺寸

Φ350*350mm

石英管有效尺寸

Φ300*300mm

热电偶

红外热电偶(可测量温度)

加热方式

感应加热

冷却水要求

≥0.2MPa ≥6L/分

高工作温度

1400℃

常用工作温度

≤1300℃

温区数

一点控温

不锈钢支架

不锈钢支架垂直固定在移动架子上,石英管和法兰通过支撑板固定于不锈钢支架上,非常牢固、紧凑

上真空法兰

 

上不锈钢法兰上焊接有真空腔体,在真空腔体上开有炉门、腔体上并焊接有KF25接头、KF16接口和进气阀门,KF25接头上安装有真空挡板阀,1米长波纹管连接于该阀和真空泵

下真空法兰

下真空法兰连接自动升降料平台装置,安装有热电偶和出气阀,热电偶,可对物料进行程序升温

法兰

上下两侧采用304不锈钢法兰,配有水冷系统,避免了法兰温度过高导致了密封圈老化。

控温系统和热电偶

 

采用PID控制,可对物料进行程序控温加热,可同时手动调节电流输出大小,设备带有过温保护

真空泵

10pa

气体流量计

配有一路气体流量计,量程为0-10L/min

可通气体

纯氧/N2Ar等惰性气体

使用气氛压力

≤0.05MPa

坩埚升降平台

 

料可以通过自动升降平台到加热区、降下来后可从炉门处拿出。

1、升降平台行程          300mm

2、升降平台升降速度     0.1um-2000um/s  

3、升降平台可自动,手动升降,也可多段速升降

4、升降平台上下都做了限位,大限度的保护设备

5、放料取料都很方便

 

升温程序

 

1、该设备带有一块10寸触摸屏(昆仑通态)

2、触摸屏中内置本公司自主研发的PLC程序,画面友好,操作简单(西门子)

3、软件做了安全保护按钮,防止误操作损坏设备

 

 

东莞市志远高热机械科技有限公司
联系人 陈萃文
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主营产品 气氛炉气氛烧结炉,真空高温炉 网址 http://zygr.b2b.huangye88.com/
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